荷兰芯片半导体管制新规主要影响ASML的TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式DUV光刻系统,以及部分特定型号的浸润式DUV光刻机,包括NXT:2050i、NXT:1980Di;而45nm以上制程的干式DUV光刻机不受影响。 具体说明如下:
TWINSCAN NXT:2000i及后续浸润式系统:根据新规,ASML需向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统,即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的型号。荷兰政府将决定是否授予许可证,并明确相关条件。
其他浸润式DUV光刻机:包括TWINSCAN NXT:2050i、NXT:2050i(重复提及,实际应为同一型号的不同表述或更新迭代)、NXT:1980Di。这些设备能够进行38nm-45nm制程的晶圆加工,属于新规管制范围。

45nm以上制程的干式DUV光刻机:如TWINSCAN XT:400L、XT:1460K、NXT:870等,这些设备用于65nm-220nm制程的晶圆加工,不在荷兰制裁清单内,发运不受新规管控。

管制范围:新规针对先进的45nm及以下芯片制造技术,涵盖ALD原子沉积设备、外延生长设备、等离子体沉积设备和浸润式光刻系统,以及相关技术、软件。
生效时间:新条例将于2023年9月1日生效,ASML可在生效前提交出口许可证申请,荷兰政府将视具体情况批准或拒绝。
EUV光刻机:此前已受到限制,不在此次新规讨论范围内。

